用途:
应用于半导体产业:
。广泛用于BGA/CSP(PBGA/CABG/LFBGA/SBGA/TABGA/FilipChip)封装等的制造过程;
。广泛使用在CSP环氧树脂硬化,精密电子元器件、晶元烘烤工程中;
。广泛用于FPC(柔性电路板)的制造过程。
产品特点:
本设备获得了多项高新科技证书,结构精巧,降温快,低能耗,是国内性能最为优良的设备。
主要参数:
型号
VNT91
VNT216
VNT512
VNT1000
工作室尺寸
(mm)
深
450
600
800
1000
宽
450
600
800
1000
高
450
600
800
1000
外形尺寸
(mm)
深
950
1100
1300
1500
宽
950
1100
1300
1500
高
1450
1600
1800
2000
温度范围
R·T+10℃~200℃(300℃)
升温时间(空载)
≤40min
≤60min
≤60min
≤70min
箱内残留氧气浓度≤100ppm,耗高纯度惰性气体(如N2)流量
≤20L/min
(≤50min降到)
≤50L/min
(≤50min降到)
≤100L/min
(≤50min降到)
≤200L/min
(≤50min降到)
≤7L/min
(浓度保持)
≤15L/min
(浓度保持)
≤30L/min
(浓度保持)
≤60L/min
(浓度保持)
外箱材质
双面镀锌钢板,表面喷塑处理
内箱材质
SUS304镜面不锈钢
引线孔
φ50mm 1个,位于箱体背面
控制器显示屏
5.7英寸,STN彩色LCD触摸显示屏
显示分辨率
温度:0.1℃,时间:0.1min
程序功能
20个程序,50段/程序,可设20个循环,最大循环次数99次,程序可链接。
控制方式
PID
重量(kg)
120
160
280
460
功率(KW)
2.0(2.7)
2.7(3.8)
5.0(6.5)
6.5(9.5)
标准配置
氧气浓度分析仪1套,流量计3个
安全装置
1.漏电保护,2.超温保护,3.风机过热报警,4.风机过流报警,5.进气氮气压力低报警,6.门开报警,7.氧气浓度分析仪故障报警.
电源(V)
AC380±10%V 50±0.5Hz 三相四线+保护地线
符合标准
GB/T 5170.2、GB/T 2423.2、GJB 150.3
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