辽宁研生科技有限公司是压电纳米定位超精密位移台的专业制造商。
压电物镜定位器 纳米定位 聚焦扫描P21系列-研生科技-纳米定位专业制造 物镜扫描器
P21系列是采用压电陶瓷驱动的纳米级物镜扫描台,扫描台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构,采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有超高的导向精度,且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点,聚焦行程可达560微米,平台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,确保了平台具有极佳的运动控制精度,定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级。扫描台为无磁材质,使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。分立的螺纹转接器,可适配多种型号的物镜。
压电物镜定位器 纳米定位 聚焦扫描 纳米级物镜定位器║P21系列
产品特点:
◆ 外形尺寸:52x65x52.5mm,结构紧凑,易于集成,灵活的螺纹转接器,最大螺纹接口M32;
◆ 行程为560μm,分辨率为14nm;
◆ 采用无摩擦高精度柔性铰链导向系统,快速响应;
◆ 内置高性能的压电陶瓷,高可靠性;
◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈,开/闭环可供选择。
压电物镜定位器 纳米定位 聚焦扫描 纳米级物镜定位器║P21系列
产品应用:
三维成像技术???筛选???干涉???计量???磁盘驱动器测试???自动对焦系统???共聚焦显微镜???半导体测试???生物技术
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辽宁研生科技有限公司自主研发的产品涵盖压电陶瓷元件、叠堆压电陶瓷、封装型压电陶瓷/促动器、压电纳米定位台/扫描台、压电平移台/升降台/偏摆台/旋转台、压电光束偏转镜、压电显微扫描平台、压电物镜聚焦/扫描器、压电红外微扫描器、压电微操作钳、压电微分头、压电马达/电机、压电螺旋促动器、压电点胶阀、压电机床微进给平台、六轴并联微位移定位系统、高精度位移传感器、压电陶瓷驱动/控制器、高精度微位移测量系统等几十个系列产品。
研生科技的纳米级精密定位产品类型丰富,运动自由度从一维至六维[X,Y,Z,θX, θY,θZ],运动行程从几微米至几千微米,承载能力从几百克至几百千克,推/拉力从几牛顿至几千牛顿,具有多种结构类型如叠堆式结构、嵌套式结构以及性能更优异的并联式结构等,定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级,主要技术指标已达到国际先进水平,可完美地替代进口产品。
研生科技的产品和技术主要应用于前沿领域科学研究、半导体制造与检测、生物显微成像、精密光学系统、光电子对准与封装、光学跟踪与扫描、超精密加工、先进自动化等领域。广泛服务于各高校、科研院所以及各类制造光学显微检测设备、激光加工设备、半导体IC设备、测量/检测仪器、光电设备、光学仪器、医疗设备、特种精密加工等的高精密装备制造商。
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